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| 半導(dǎo)體 |
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| 發(fā)布時(shí)間:2017/1/12 點(diǎn)擊次數(shù):1 |
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羅克韋爾自動(dòng)化半導(dǎo)體行業(yè)FMCS解決方案FMCS (Facilities Management Control System)，具有各層次的監(jiān)視與控制功能，是工業(yè)級(jí)的控制系統(tǒng)，監(jiān)視并控制著服務(wù)于FAB生產(chǎn)的各子系統(tǒng)。子系統(tǒng)包含但不局限以下系統(tǒng)：潔凈室、空調(diào)、機(jī)電設(shè)施、超純水、污水處理、化學(xué)品供應(yīng)、氣體供應(yīng)、真空系統(tǒng)、壓力系統(tǒng)、電力與生命安全系統(tǒng)等。作為專業(yè)的自動(dòng)化供應(yīng)商羅克韋爾可為用戶帶來(lái)產(chǎn)品與工程上的最優(yōu)化解決方案。潔凈室系統(tǒng)潔凈室系統(tǒng)維持無(wú)塵室的潔凈度、溫度、濕度、壓力、新風(fēng)量等參數(shù)，為生產(chǎn)提供安全可靠的環(huán)境。監(jiān)控對(duì)象有空調(diào)新風(fēng)機(jī)組、排風(fēng)機(jī)組、洗滌塔、干盤管、FFU、FAB內(nèi)的壓力、溫度、濕度等。機(jī)電設(shè)施系統(tǒng)機(jī)電設(shè)施系統(tǒng)包含冷凍水系統(tǒng)、冷卻水系統(tǒng)、熱水系統(tǒng)等三大中央動(dòng)力系統(tǒng)。在FMCS系統(tǒng)中對(duì)熱水系統(tǒng)監(jiān)控主要涉及對(duì)鍋爐的通信、水溫、水泵、熱水的壓力。純水系統(tǒng)半導(dǎo)體行業(yè)由于產(chǎn)品的特性，生產(chǎn)過(guò)程中必須使用電子級(jí)的純水。典型制備工藝可分為以下幾個(gè)部分：預(yù)處理、RO反滲透、電去離子或混床、拋光混床、供水、回收水。自控方案的主要控制對(duì)象有水箱的液位、水泵、流量、壓力、溫度、反洗裝置、加藥裝置、水質(zhì)測(cè)量裝置。廢水處理半導(dǎo)體廠需處理的廢水包含制程工藝廢水(如CMP、酸堿液、HF、有機(jī)物等)、洗滌塔廢水、純水系統(tǒng)生成廢水、一般排水。化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)廠務(wù)化學(xué)系統(tǒng)一般可分為三大類, 即酸堿類、有機(jī)溶劑類、研磨液。供應(yīng)路徑如下圖： 由于供應(yīng)化學(xué)品種類繁多，為保證24小時(shí)連續(xù)穩(wěn)定供應(yīng)與安全，每個(gè)供應(yīng)柜CDM采用單獨(dú)PLC控制。從容器中送出的化學(xué)品通過(guò)VMB實(shí)現(xiàn)多用戶接入, 對(duì)VMB的控制通過(guò)I/O盤。然后，整體通過(guò)監(jiān)控系統(tǒng)對(duì)運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)控，實(shí)現(xiàn)集中管理，確保運(yùn)行的安全與供應(yīng)品質(zhì)。氣體供應(yīng)系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中，以及其它電子行業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中，使用了眾多種類的氣體。一般把氣體分為大宗氣體(BulkGas) 和特殊氣體 (Special Gas) 兩種。大宗氣體一般是指集中供應(yīng)且用量較大的氣體，涵蓋制程用氣如氮?dú)�、氧氣、氫氣、氬氣、CDA等。 特殊氣體主要是在擴(kuò)散制程、薄膜制程、離子注入制程、刻蝕制程等工藝處使用的氣體，以及其他為各種制程設(shè)備所使用的惰性氣體等。特氣供應(yīng)系統(tǒng)的基本流程為： 真空與CDA系統(tǒng)一、真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)包括工藝真空(Process Vacuum )、清掃真空(House Vacuum)；工藝真空PV：供工藝設(shè)備與作業(yè)員用來(lái)搬送晶圓片的真空；其通常的構(gòu)成真空罐、真空泵、油水分離器、冷卻系統(tǒng)、輸送管路。清掃真空HV：為FAB的清掃提供真空源，真空使用點(diǎn)位于FAB不同位置。其通常構(gòu)成真空泵、除塵器、自動(dòng)補(bǔ)風(fēng)裝置、使用節(jié)點(diǎn)等.二、CDA系統(tǒng)：通過(guò)壓縮機(jī)壓縮外部空氣，并經(jīng)過(guò)過(guò)濾器、干燥機(jī)等一系列處理用來(lái)供FAB使用。FMCS系統(tǒng)主要監(jiān)控空壓機(jī)運(yùn)行、干燥機(jī)運(yùn)行、系統(tǒng)冷卻、壓力監(jiān)控(緩沖罐與管路、過(guò)濾器)、空氣露點(diǎn)等。生命安全系統(tǒng)生命安全系統(tǒng)包括數(shù)個(gè)專業(yè)的子系統(tǒng)，如火災(zāi)與氣體監(jiān)測(cè)，緊急通信，安防及聲光報(bào)警撤離系統(tǒng)�；馂�(zāi)系統(tǒng)包括火災(zāi)保護(hù)、火災(zāi)探測(cè)、火災(zāi)事故照明和疏散指示等。特氣偵測(cè)系統(tǒng)（Gas Detector System）簡(jiǎn)稱GDS，采用特氣偵測(cè)設(shè)備測(cè)量有毒氣體的含量，有些偵測(cè)設(shè)備已經(jīng)集成了通信接口，通過(guò)這些接口可直接發(fā)送狀態(tài)與報(bào)警到FMCS系統(tǒng)，而另外一些則需要專用的接口模塊或硬接線獲得相關(guān)信息。電力監(jiān)控系統(tǒng)電力監(jiān)控系統(tǒng)監(jiān)視工廠的用電狀態(tài)與用電質(zhì)量。通過(guò)對(duì)電力的監(jiān)控，可幫助用戶實(shí)現(xiàn)用電需求管理、限電管理、電壓無(wú)功功率管理、及成本分配等，從而提高供電質(zhì)量，使設(shè)備的運(yùn)行更有效、安全。用戶服務(wù)與技術(shù)支持很多企業(yè)發(fā)現(xiàn)，如果在設(shè)備替換階段采用響應(yīng)型維護(hù)策略，企業(yè)將遭遇更頻繁、無(wú)計(jì)劃的停機(jī)事故，并且由于缺乏技術(shù)資源，使得延長(zhǎng)設(shè)備壽命的工作變得非常困難，企業(yè)將為此支付高額的維護(hù)費(fèi)用。綜上所述，維護(hù)策略應(yīng)該在項(xiàng)目和設(shè)備設(shè)計(jì)階段就由維護(hù)部門開(kāi)始考慮制定，有效地將預(yù)測(cè)型、預(yù)防型和響應(yīng)型維護(hù)方法相結(jié)合，使其貫穿于設(shè)備的整個(gè)生命周期，將其作為企業(yè)增加利潤(rùn)的一種途徑，通過(guò)運(yùn)用這些維護(hù)措施創(chuàng)造最佳的生產(chǎn)環(huán)境，延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間，實(shí)現(xiàn)更多的利潤(rùn)。羅克韋爾自動(dòng)化戰(zhàn)略性維護(hù)策略，能全面滿足您優(yōu)化自動(dòng)化設(shè)備性能的需求，以實(shí)現(xiàn)： 羅克韋爾自動(dòng)化的客戶支持與維護(hù)服務(wù) 在系統(tǒng)生命周期的不同階段采用恰當(dāng)?shù)念A(yù)測(cè)型、預(yù)防型和響應(yīng)型維護(hù)方法的組合，能幫助您更好的實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)。
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